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電容式MEMS技術

ASC 5521加速度傳感器基于電容式MEMS技術，可在0Hz以下的低頻響應中使用。在傳感器元件內部，地震質量與兩個導電電容板連接。如果地震質量在兩個電容板之間振蕩，電容就會發(fā)生變化。這種電容變化通過ASIC(應用特定的集成電路)轉換成模擬信號。

描述

ASC 5521和ASC 5525是針對不同應用的需求而開發(fā)的。高魯棒殼體和連接電纜適用于汽車、火車、軍事等領域的粗糙應用。這些ASC加速度計得益于芯片技術的高穩(wěn)定性、低偏置和良好的標度因子溫度系數(shù)。

asc5521和asc5525在較寬的溫度范圍內得到充分補償，并經(jīng)過工廠校準。由于采用電容技術，測量范圍非常小是可能的。放大后的輸出易于與數(shù)據(jù)采集單元一起使用。信號獨立于+8VDC到+30VDC之間的電源。一個非常高的靈活和堅固的電纜提供了一個簡單的安裝。ASC 5521和ASC 5525標準配置6米電纜。

ASC 5521加速度傳感器

德國ASC傳感器總覽

1. ACCELEROMETERS (線加速度傳感器) 2. GYROS（角速度傳感器） 3. INERTIAL MEASUREMENT UNIT （慣性測量單元）

一、線加速度傳感器（Accelerometers）

【A. MEMS電容型(Capactie )  B. MEMS壓阻型(Pizoresistie)  C. 壓電型（Pizoelectric:IEPE集成了放大器和電荷電/壓轉換器】

MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)微機電系統(tǒng)，是在微電子技術（半導體制造技術基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

系統(tǒng)特點：

1微型化：MEMS器件體積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧振頻率高、響應時間短。

2以硅為主要材料，機械電器性能優(yōu)良：硅的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當，密度類似鋁，熱傳導率接近鉬和鎢。

3批量生產(chǎn)：用硅微加工工藝在一片硅片上可同時制造成百上千個微型機電裝置或完整的MEMS。批量生產(chǎn)可大大降低生產(chǎn)成本。

4集成化：可以把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執(zhí)行器集成于一體，或形成微傳感器陣列、微執(zhí)行器陣列，甚至把多種功能的器件集成在一起，形成復雜的微系統(tǒng)。微傳感器、微執(zhí)行器和微電子器件的集成可制造出可靠性、穩(wěn)定性很高的MEMS。

5多學科交叉：MEMS涉及電子、機械、材料、制造、信息與自動控制、物理、化學和生物等多種學科，并集約了當今科學技術發(fā)展的許多*成果